IGS金屬隔膜閥應(yīng)用于IGS的高純度金屬隔膜閥,采用二次熔煉的SUS316L作為閥體材質(zhì),有多種接口(C-seal和W-seal)可供選擇。
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IGS金屬隔膜閥優(yōu)勢(shì):
• 適合高純度工藝供氣生產(chǎn)線• 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L,安全可靠• W-seal和C-seal 可供選擇
IGS金屬隔膜閥技術(shù)參數(shù):
尺寸
SEMI F83-03041.125” W seal2 Port
SEMI F84-03041.125” W seal3 Port
SEMI F86-03041.125” C seal2 Port
Cv value( Cv值)
0.24
0.27
大使用壓力
1.0MPa(G)
使用溫度范圍
-10~80℃
外部泄露
≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium
閥座泄露
≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium
七星流量計(jì)一家專(zhuān)業(yè)提供流量測(cè)控解決方案的供應(yīng)商,傳承在氣體流量測(cè)控領(lǐng)域40多年研發(fā)生產(chǎn)實(shí)力,始終以技術(shù)創(chuàng)新為基點(diǎn),致力于為客戶過(guò)程控制中精確測(cè)量控制氣體的研究;致力于成為**的氣體流量測(cè)控產(chǎn)品服務(wù)商;致力于幫助客戶提升設(shè)備性能;致力于實(shí)現(xiàn)核心零部件中國(guó)造的產(chǎn)業(yè)夢(mèng)想。