氣路系統(tǒng) 氣路盤(pán)是七星流量計(jì)開(kāi)發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案，該產(chǎn)品通過(guò)對(duì)氣路原理圖的設(shè)計(jì)，加工和測(cè)試，以隔膜閥，調(diào)壓閥，壓力傳感器，過(guò)濾器，MFC等零部件實(shí)現(xiàn)對(duì)多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)，純度過(guò)濾，流量控制等功能，目前市場(chǎng)上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤(pán)和氣體輸送集成控制系統(tǒng)（Integrated Gas System），即IGS氣路盤(pán)，這兩種氣路盤(pán)業(yè)務(wù)七星流量計(jì)都有能力承接。
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